【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part6:Axialfatiguetestingmethodsofthinfilmmaterials(IEC62047-6:2009);GermanversionEN62047-6:2010
【原文标准名称】:半导体器件.微电机设备.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法(IEC62047-6:2009);德文版本EN62047-6:2010
【标准号】:EN62047-6-2010
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2010-07
【实施或试行日期】:2010-07-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Basematerials;Definitions;Dimensions;Electricalengineering;Fatigue;Fatiguelimit;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Roomairtemperature;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:17P;A4
【正文语种】:英语