基本信息
| 标准名称： | 电子材料晶片参考面长度测量方法 |
| 英文名称： | Test method for measuring flat length on slices of electronic materials |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | |
| 替代情况： | 被GB/T 13387-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1992-02-19 |
| 实施日期： | 1992-10-01 |
| 首发日期： | 1992-02-19 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：7， 字数：9000 |
适用范围
本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法